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中微公司收到兆馳股份52腔MOCVD設備采購訂單
資料顯示，兆馳半導體是兆馳股份的全資子公司，位于江西省南昌市高新開發區，是一家專業從事LED外延片和芯片的研發、生產的高科技企業，總投資100億元，占地約500畝，一期建筑面積約27萬多平方米。
據悉，今年3月17日，兆馳股份曾發布公告宣布計劃投資50億元，在南昌高新區投資建設MiniLED芯片及RGB小間距LED顯示模組項目。其中，設備投資約25億元。
該項目計劃采購52腔MOCVD設備及相應產能芯片及配套設備用于生產氮化鎵MiniLED芯片，同時新增300-500條采用COB技術的小間距LED顯示模組產線。項目預計于2023年完成設備安裝調試并正式投入運營。
據介紹，Prismo UniMax®是中微公司于2021年6月發布的用于高性能MiniLED量產的MOCVD設備，該設備在同一系統中可配備多達4個反應腔，并配置了多區溫度補償加熱系統，具備優異的波長均勻性、重復性和穩定性。
中微公司MOCVD設備優化設計的噴淋頭實現了更好的均勻性和產出穩定性、超大直徑石墨托盤可大幅提升客戶產能并降低成本；通過石墨盤晶片排布的最優化，Prismo UniMax®的加工容量可以延伸至生長164片4英寸或72片6英寸晶片。
中微公司表示，公司Prismo UniMax®MOCVD設備訂單已超180腔，是繼去年12月Prismo UniMax®MOCVD設備訂單超100腔以來公司取得的又一次重要突破，為公司未來更多的MOCVD產品開拓市場奠定了堅實的基礎。
目前，中微公司開發的等離子體刻蝕設備已被廣泛應用于國際一線客戶從65納米到5納米及更先進工藝的眾多刻蝕應用；開發的用于LED和功率器件外延片生產的MOCVD設備已在客戶生產線上投入量產。
