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牛津儀器向英國MicroLED制造商供應ALD設備

牛津儀器業務主要分為納米分析設備、工業分析設備和服務三大部分,其產品包括沉積與刻蝕設備、光學成像設備、低溫系統、電子顯微鏡、核磁共振設備等,可用于半導體、微電子、量子科技、光子學、鋰電池、能源生產與儲存等領域。

此前,牛津儀器曾與臺工研院多次達成合作,在HBLED、MEMS、Micro LED、硅光子學、奈米分析等領域獲得豐富成果。

據悉,原子層沉積(Atomic layer deposition)是一種可以將物質以單原子膜形式一層一層鍍在基底表面的方法。原子層沉積與普通的化學沉積有相似之處,該技術目前主要應用于半導體和納米技術領域。

在第14屆國際氮化物半導體會議 (ICNS 2023) 上,眾多專家講者強調了等離子原子層沉積技術在防護Micro LED生產損傷方面的優勢,并證明了等離子體原子層沉積技術可顯著提高Micro LED芯片的外部量子效率,因此原子層沉積技術是未來微型光發射器發展的關鍵。

牛津儀器表示,公司的低損傷等離子原子層沉積技術獲得了市場關注。公司的等離子 ALD高K鈍化解決方案,針對具有較小活性區域的Micro LED微芯片進行了優化,并且方案可將Micro LED外部量子效率翻倍。投產當天,粒量科技全自動化生產線已全面啟動,正開足馬力抓緊生產、全力趕制訂單。據了解,該項目投產后預計今年可新增產值3億元,全部投產后可新增產值7億元,年納稅額達5000萬元。

資料顯示,坐落于福建省安溪縣高端裝備制造產業園區內,廠區建筑面積6萬平方米,注冊資本2億元人民幣。公司在LED芯片、封裝、應用等測試全產業鏈領域擁有超過十五年的實際操作經驗,還擁有先進水平的Mini/Micro LED封裝產品生產設備。

粒量科技副總經理謝劍平表示,公司的產品主要應用于私人影院、廣告屏、指揮中心等高檔應用場景。公司的產品遠銷國內外市場,目前已受到廣大客戶的認同,公司目前也接到大量客戶的訂單,正在加緊生產。

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